通常采用感应加热或火焰加热的方式进行表面淬火回火热处理。其主要性能参数为表面硬度、局部硬度和有效硬化层深度。可采用维氏硬度计或洛氏硬度计进行硬度检测。试验力(尺子)的选择与有效硬化层的深度和材料表面硬度有关。这里有三种硬度计。
维氏硬度计是检测热处理材料表面硬度的重要手段，它可以选择0.5～100公斤的测试力，测试厚度为0.05毫米的表面硬化层，其精度是肯定的，可以区分热处理材料表面硬度的细微差别。此外，维氏硬度计还应测试有效硬化层的深度。因此，对于进行表面热处理或广泛使用表面热处理工件的单位，有必要配置维氏硬度计。
第二，表面洛氏硬度计也非常适合测试表面淬火工件的硬度。表面洛氏硬度计有三种尺度可供选择。可测试各种表面硬化工件，其有效硬化深度超过0.1毫米。表面洛氏硬度计的精度虽然没有维氏硬度计高，但作为热处理工厂的质量控制和合格检查的检测方法，已经能够满足要求。此外，它还具有操作简单、使用方便、价格低廉、测量快、硬度值可直接读取等特点。表面洛氏硬度计可用于快速、无损的表面热处理工件逐件检验。这是一种重型工具。
当表面热处理硬化层较厚时，也可采用洛氏硬度计。热处理硬化层厚度为0.4～当硬化层厚度超过0.8mm时，可采用HRC标尺，当硬化层厚度超过0.8mm时，可采用HRC标尺。维氏、洛氏和表面洛氏三种硬度值可方便地相互转换，转换成标准、图纸或用户所需的硬度值。国际标准ISO中对应的转换表、已经给出了美国标准ASTM和中国标准GB/T。
