减少热处理氧化的核心措施包括气氛控制、表面保护和工艺优化。N2可控气氛热处理选择、氩或氢(漏点)≤-用40℃代替气体，使氧含量降至0.1%以下；真空热处理(压力≤十^-3Pa)完全阻挡了氧气。对一般的电阻炉，可以在工件表面喷涂硼砂或水玻璃溶液，形成临时保护膜。
在工艺中，选择快速加热(感应加热)和分段保温:先低温除油除气，再升至目标温度，缩短高温暴露时间。稀有元素(如Ce)可以添加到不锈钢等高氧化倾向材料中、La），促进致密Cr2O3膜的形成。在后处理阶段，及时除磷(酸洗)和钝化可以去除产生的氧化层。
